You are hereNPR

NPR


Nanotechnologické praktikum sticky icon

Course: Practicals in Nanotechnology

Department/Abbreviation: KEF/NPR

Year: 2020 2021

Guarantee: 'Mgr. Milan Vůjtek, Ph.D.'

Annotation: To obtain laboratory experience in the nanotechnology

Course review:
1. Scanning electron microscopy 2. EDS analysis 3. Nanolayers 4. Wet and dry etching 5. Electron beam lithography - sample preparation 6. Electron beam lithography - development and post-processing 7. Silver nanoparticles fabrication 8. Atomic force microscopy 9. Photospectroscopy of quantum dots 10. Nanoindentation

Návod k obsluze (úloha 3)

Návod k ovládání zařízení

 1) Ovládání Bruker EDS spektrometru integrovaného ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN VEGA3.

Úloha 6: Elektronová litografie

Tato úloha byly v přihlášce projektu uvedená jako výhledová a bude dopracována až po pořízení rozšíření o elektronovou litografii v roce 2014.

Úloha 5: Trojrozměrné zobrazení

3D režim

Režim se zapíná nabídkou Tools/3D Scanning a zobrazí se základní panel.

Z něho si vybereme první ikonu s brýlemi.

Úloha 4: Nízkovakuový režim a zobrazování nevodivých vzorků

Úloha 3: Prvková analýza EDS

Energiově disperzní spektroskopie (EDS) umožňuje využití skenovacího elektronového mikroskopu pro prvkovou analýzu studovaných preparátů. Cílem této úlohy je praktické seznámení s principy a použitím této analytické metody. Osvojení si ovládání zařízení pro energiově disperzní spektroskopii, které je integrováno ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN Vega 3.

Úloha 2: Aplikace SEM

Tato úloha rozšiřuje experimentální znalosti studentů, spočívající ve vyhodnocování kritických parametrů různých typů vzorků. Rovněž zahrnuje měření s BSE detektorem pro demonstraci odlišností.

Úloha 1: Úvod do použití SEM

Cílem této úlohy je základní seznámení s obsluhou elektronového mikroskopu VEGA3. Jedná se o skenovací elektronový mikroskop se žhavenou katodou LaB6, rozsahem urychlovacího napětí do 30 kV a nejlepším rozlišením 2 nm. Předpokládá se, že student je teoreticky seznámen s principem skenovací elektronové mikroskopie.