Skenovací elektronový mikroskop VEGA3

V rámci řešení FRVŠ projektu Rozvoj laboratoře pro praktickou výuku nanotechnologií v oblasti nanoskopie byl na katedru experimentální fyziky pořízen skenovací elektronový mikroskop VEGA3 LMU (firmy TESCAN) s integrovanou EDS analýzou. Přístroj je určen pro výuku a práce studentů.

Přístroj je umístěn v laboratoři LP-4.031 na katedře. Jeho využití je možné sledovat v plánovacím kalendáři. V případě zájmu studentů o změření vzorku či zaškolení kontaktujte M. Vůjtka nebo V. Procházku.

Parametry přístroje:

• max. rozlišení 2 nm
• katoda LaB₆
• max. urychlovací napětí 30 kV
• energiově disperzní analýza s rozlišením 133 eV
• možnost nízkovakuového režimu
• možnost stereomikroskopie
• možnost skriptování

Dále je možnost pokovení nevodivých vzorků.

studijní opora Nanoskopie (PDF, 41 MiB)