Čeština
EnglishYou are hereNPR
NPR
Nanotechnologické praktikum
Předmět: Nanotechnologické praktikum
Katedra/Zkratka: KEF/NPR
Rok: 2021 2022
Garant: 'Mgr. Milan Vůjtek, Ph.D.'
Anotace: Absolvováním kurzu získají studenti základní praktické zkušenosti s vybranou experimentální technikou, používanou při charakterizaci nanostruktur, a s přípravou základních nanostruktur.
Přehled látky:
1. Skenovací elektronový mikroskop - zobrazování mikro a nanostruktur
2. Energiově disperzní spektroskopie - charakterizace materiálů
3. Příprava a charakterizace nanovrstev - spin coating, plazmové naprašování, napařování
4. Porovnání chemického a plazmového leptání (reaktivního iontového leptání)
5. Elektronová litografie - příprava vzorků pro pozitivní a negativní litografii
6. Elektronová litografie - vyvolání litografií a post-processing
7. Chemická příprava nanočástic stříbra
8. Mikroskopie atomárních sil - zobrazování nanostruktur
9. Fotospektroskopie kvantových teček
10. Nanoindetace
Návod k obsluze (úloha 3)
Návod k ovládání zařízení
1) Ovládání Bruker EDS spektrometru integrovaného ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN VEGA3.
Úloha 6: Elektronová litografie
Tato úloha byly v přihlášce projektu uvedená jako výhledová a bude dopracována až po pořízení rozšíření o elektronovou litografii v roce 2014.
Úloha 5: Trojrozměrné zobrazení
3D režim
Režim se zapíná nabídkou Tools/3D Scanning a zobrazí se základní panel.
Z něho si vybereme první ikonu s brýlemi.
Úloha 3: Prvková analýza EDS
Energiově disperzní spektroskopie (EDS) umožňuje využití skenovacího elektronového mikroskopu pro prvkovou analýzu studovaných preparátů. Cílem této úlohy je praktické seznámení s principy a použitím této analytické metody. Osvojení si ovládání zařízení pro energiově disperzní spektroskopii, které je integrováno ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN Vega 3.
Úloha 2: Aplikace SEM
Tato úloha rozšiřuje experimentální znalosti studentů, spočívající ve vyhodnocování kritických parametrů různých typů vzorků. Rovněž zahrnuje měření s BSE detektorem pro demonstraci odlišností.
Úloha 1: Úvod do použití SEM
Cílem této úlohy je základní seznámení s obsluhou elektronového mikroskopu VEGA3. Jedná se o skenovací elektronový mikroskop se žhavenou katodou LaB6, rozsahem urychlovacího napětí do 30 kV a nejlepším rozlišením 2 nm. Předpokládá se, že student je teoreticky seznámen s principem skenovací elektronové mikroskopie.
