You are heresem

sem


Skenovací elektronový mikroskop VEGA3 sticky icon

V rámci řešení FRVŠ projektu Rozvoj laboratoře pro praktickou výuku nanotechnologií v oblasti nanoskopie byl na katedru experimentální fyziky pořízen skenovací elektronový mikroskop VEGA3 LMU (firmy TESCAN) s integrovanou EDS analýzou. Přístroj je určen pro výuku a práce studentů.

Návod k obsluze (úloha 3)

Návod k ovládání zařízení

 1) Ovládání Bruker EDS spektrometru integrovaného ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN VEGA3.

Úloha 6: Elektronová litografie

Tato úloha byly v přihlášce projektu uvedená jako výhledová a bude dopracována až po pořízení rozšíření o elektronovou litografii v roce 2014.

Databáze studentských snímků SEM

Databáze snímků, pořízených studenty prostřednictvím skenovacího elektronového mikroskopu, je k dispozici na adrese ftp://afnet.upol.cz/Public/SEM/.

Úloha 5: Trojrozměrné zobrazení

3D režim

Režim se zapíná nabídkou Tools/3D Scanning a zobrazí se základní panel.

Z něho si vybereme první ikonu s brýlemi.

Úloha 4: Nízkovakuový režim a zobrazování nevodivých vzorků

Úloha 3: Prvková analýza EDS

Energiově disperzní spektroskopie (EDS) umožňuje využití skenovacího elektronového mikroskopu pro prvkovou analýzu studovaných preparátů. Cílem této úlohy je praktické seznámení s principy a použitím této analytické metody. Osvojení si ovládání zařízení pro energiově disperzní spektroskopii, které je integrováno ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN Vega 3.

Úloha 2: Aplikace SEM

Tato úloha rozšiřuje experimentální znalosti studentů, spočívající ve vyhodnocování kritických parametrů různých typů vzorků. Rovněž zahrnuje měření s BSE detektorem pro demonstraci odlišností.

Úloha 1: Úvod do použití SEM

Cílem této úlohy je základní seznámení s obsluhou elektronového mikroskopu VEGA3. Jedná se o skenovací elektronový mikroskop se žhavenou katodou LaB6, rozsahem urychlovacího napětí do 30 kV a nejlepším rozlišením 2 nm. Předpokládá se, že student je teoreticky seznámen s principem skenovací elektronové mikroskopie.