You are herePGS5N

PGS5N


Předmět: Nízkoteplotní plazma

Katedra/Zkratka: SLO/PGS5N

Rok: 2019

Garant: 'RNDr. Zdeněk Hubička, Ph.D.', 'prof. RNDr. Jan Peřina, Ph.D.'

Anotace: Cílem je seznámit studenty s problematikou uvedenou v sylabu předmětu. Cílem předmětu je seznámit studenty se základními poznatky o vakuové technice, nízkoteplotním plazmatu, přípravě a charakterizaci tenkých vrstev se zaměřením na metody plazmatické přípravy tenkých vrstev a diagnostiku plazmatu.

Přehled látky:
" Základy vakuové techniky; metody pro vytváření a měření vakua; konstrukce vakuových aparatur. " Základní principy a použití DC, RF, pulzních DC a HiPIMS zdrojů pro buzení nízkoteplotního plazmatu " Základy řízení fyzikálních experimentů. " Přehled metod přípravy tenkých vrstev; metody PVD, CVD a PECVD a jejich modifikace; srovnání výhod a nevýhod. " Magnetronové naprašování a reaktivní naprašování; popis různých konfigurací z pohledu generace plazmatu; aplikace na konkrétní typy tenkých vrstv. " PECVD metody depozice tenkých vrstev, " atmosférické plazma a jeho aplikace pro depozice tenkých vrstev a úpravu povrchů. " Další plazma-asistované depoziční techniky tenkých vrstev a jejich použití v praxi. " Přehled diagnostických metod plazmatu; Langmuirova sonda - teorie sběru nabitých částic kovovou sondou s rozmítaným předpětím; konstrukce sondy a měřících elektronických obvodů; problematika měření v depozičních plazmových systémech. " Žhavená sonda pro real-time určení potenciálu plazmatu; sondy pro měření iontové rychlostní distribuce (RFEA, Katsumata atp.); sondy pro měření iontového toku a jejich použití v technologickém plazmatu. " Hmotnostní spektroskopie s energetickým rozlišením; optická emisní spektroskopie; laserová absorpční spektroskopie; techniky mikrovlnné diagnostiky plazmatu. " Základní vlastnosti tenkých vrstev; fyzika povrchů a tenké vrstvy; struktura a složení tenkých vrstev. " Charakterizace tenkých vrstev - základní principy měření struktury a složení tenkých vrstev; X-ray spektroskopie; " Elektronová spektroskopie tenkých vrstev; metody SEM a TEM; další metody elektronové spektroskopie. " Ramanova spektroskopie; AFM; STM; indentace.