You are hereBPFN

BPFN


Předmět: Příprava a charakterizace fot. nanostr.

Katedra/Zkratka: SLO/BPFN

Rok: 2017

Garant: 'Ing. Štěpán Kment, Ph.D.'

Anotace: Předmět se zabývá problematikou přípravy, charakterizací a vlastnostmi tenkovrstvých struktur.

Přehled látky:
- Metody přípravy tenkých vrstev: vakuové napařování, obloukové vypařování atd. - Aplikace nízkoteplotního plazmatu pro PVD a PECVD depozici vodivých a dielektrických tenkých vrstev, fyzikální základy DC a RF katodového naprašování a reaktivního naprašování, magnetronové systémy RF, MF, DC, DC pulsní, duální atd., systémy s dutou katodou a plazmovým kanálem. - Systémy pro PECVD depozici tenkých vrstev, planární RF reaktor, VHF reaktor, aplikace MW plazmatu pro depozici tenkých vrstev, MW surfatron, ECR plazma. PECVD systémy pracující za atmosférického tlaku, DBD výboj, RF výboj, BTD s proudícím kanálem. - Vlastnosti a charakterizace tenkovrstvých struktur. - Úhlově závislá spektrální elipsometrie v oboru vlnových délek zahrnující viditelnou a vakuovou-UV oblast spektra. - Fázové přechody v tenkovrstvých strukturách. - Dielektrické a piezoelektrické vlastnosti a charakterizace tenkých vrstev perovskitů. - Charakterizace mechanických parametrů tenkovrstvých systémů pomocí nanoindentace, opticky buzené povrchové akustické vlny a pod.