You are hereÚloha 5: Trojrozměrné zobrazení

Úloha 5: Trojrozměrné zobrazení


3D režim

Režim se zapíná nabídkou Tools/3D Scanning a zobrazí se základní panel.

Z něho si vybereme první ikonu s brýlemi.

Tento režim umožní vytvořit stereoskopický prostorový obrázek, který se při pozorování pomocí dvoubarevných brýlí jeví jako plastický. Efektu je dosaženo pomocí sejmutí dvou obrázků s různým náklonem elektronového svazku (první nastavitelný parametr Beam tilt [deg]). Oba obrázky se vykreslí přes sebe, jeden v modré a druhý v červené barvě, přičemž budou vzájemně posunuty o Shift x [pxl] a Shift y [pxl]. Pro pozorování musíme mít správně nasazené brýle (pořadí barev musí odpovídat Mode). Z výsledného obrázku můžeme usuzovat na výškové rozdíly, ale v principu neumožňuje přesné měření výšky.

Po otevření dialogu probíhá živé skenování, ve kterém se obrazy neustále překreslují, uložení obrázku provedeme přes Acquire image.

Mechanický náklon vzorku

Pro posuzování tlouštěk vrstev není skenovací eletronový mikroskop nejvhodnějším zařízením. Je ale možné jej použít, pokud je ve vrstvě ostrý přechod na podložku a můžeme vzorek sledovat nakloněný. Naklonění vzorku dosáhneme buď jeho vhodným uchycením, ale snadněji náklonem držáku vzorku. K tomu slouží položka Tilt v okně stage. Při náklonu musíme dbát na to, aby nedošlo k poškození konce elektronového sloupce jinými vzorky, protože se mohou nevhodně nadzvednout.

Tloušťku vrstvy pak můžeme určit změřením pozorovaného přechodu a ze známého úhlu naklonění.

Zobrazení vzorku s různým náklonem můžeme automatizovat opět pomocí nabídky Tools/3D Scanning, ale tentokrát použijeme třetí ikonu.

 

Nastavíme počáteční a konečný úhel náklonu a počet obrázků, které se mají během naklánění nasnímat. Ze získaných obrázků pak můžeme poskládat video (volba Generate AVI, rychlost daná AVI frames per sec). Volba Align images umožní ponechat ve středu obrázků nehybný bod. Sběr dat proběhne po stisku Scan and generate.

Příprava tenkých vrstev pro měření

Měření tenkých vrstev v SEMu není jednoduché, často totiž vrstvy nevytvářejí dostatečný kontrast a najít rozhraní mezi vrstvou a podložkou (které je snadno vidět okem) není snadné, zvláště proto, že přechody vzniklé během tvorby vrstvy bývají pozvolné. Proto je pro měření tloušťky vrstvy mnohdy lepší udělat do vrstvy ostrou rýhu a snažit se zobrazit tuto rýhu.

Úkoly

  1. Proveďte 3D zobrazení povrchu mince s malým zvětšením.
  2. Zkuste vyhodnotit výškový rozdíl mezi nejvyšším a nejnižším bodem líce mince pomocí změny WD při zaostření.
  3. Proveďte 3D zobrazení (s malým zvětšením) vzorku hmyzu.
  4. Zobrazte kalibrační mřížku s výškovými schody a určete výšku schodu (např. náklonem vzorku).
  5. Určete tloušťku tenké vrstvy s rýhou, proveďte line-scan analýzu pomocí EDS a vyzkoušejte BSE zobrazení. Rozhodněte, zda je SEM vhodnou technikou pro měření tloušťky vrstvy.
  6. Zobrazte strukturu vzorku STEPP.