You are hereNávod k obsluze (úloha 3)

Návod k obsluze (úloha 3)


Návod k ovládání zařízení

 1) Ovládání Bruker EDS spektrometru integrovaného ve skenovacím elektronovém mikroskopu TESCAN VEGA3.

Pro ovládání spektrometru jsou k dispozici dva softwarové nástroje. Software EasyEDX je integrovaný jako nástroj v ovládacím softwaru mikroskopu VEGA a složí především k rychlejší analýze studovaného vzorku. Tento software nenabízí takové možnosti volby jako software Esprit od firmy Bruker.

EasyEDX:
Software umožňuje akumulaci spektra z bodu i vybrané oblasti, umožňuje také prvkové mapování po zvolené přímce a ze zvolené plochy.

(30 MiB)

Nástroj se spouští z nabídky Tools volbou EasyEDX v softwaru VEGA

Otevře se ovládací okno EDX detektoru

Po stisknutí ikony pro nastavení detektoru se otevře dialogové okno, kde je potřeba nastavit vhodné parametry akvizice. Především se jedná o čas nabírání jednoho spektra, případně počet bodů na přímce nebo velikost rastru pro plošné mapování.

Výběrem ikony pro načítání spekter spustíme dialogové okno, které nás vyzve k vyznačení oblasti nebo bodu, ze které chceme načítat spektrum. Požadované oblast nebo bod se volí v okně s SE obrazem programu VEGA. Následně se měří spektrum.

Po načtení spektra je zobrazeno okno prvkové analýzy. Volbou tlačítka Show Spectrum zobrazíme načtené spektrum. Volbou tlačítka Change elements můžeme zvolit prvky, které chceme kvantifikovat. Po patřičných úpravách potvrdíme provedenou analýzu tlačítkem Accept a měření je zaznamenáno jako jeden řádek v základním okně. Mezi jednotlivými měřeními následně můžeme přepínat a případně je dále editovat.

Obdobným způsobem ovládáme i čárové a plošné mapování. Tam vybíráme přímku případně oblast, ve které je mapování prováděno. V okně SE obrazu můžeme vidět úsečku a plochu, po které probíhalo mapování.

Výsledky jsou zobrazeny v okně čárového mapování.

nebo plošného mapování.

 Esprit:

Druhým, specializovaným softwarem pro EDS experimenty je software Esprit. Ten v porovnání se EasyEDX umožňuje především detailnější nastavení celého procesu detekce a analýzy dat, včetně volby kvantifikační procedury a analýzy spektra.

Upozornění: Po ukončení práce pomocí EasyEDX nástroje není možné spustit software Esprit. Pro spuštění Esprit je nutné zavřít a znovu spustit program VEGA.

(9,3 MiB)

Program spouštíme ikonou z levého panelu a potvrdíme heslo.

Pro práci s programem Esprit je výhodné využít druhý monitor připojený k řídícímu počítači. Tento program umožňuje externí ovládání mikroskopu a umožňuje mimo jiné načítání obrazu, ve kterém jsou voleny oblasti pro mapování. V levém pruhu programu jsou volby Spectra, Imaging, Object a Report sloužící k načítání spekter, načítání obrazu vzorku v zorném poli mikroskopu, čárovému a plošnému mapování a editaci zprávy o měření.

a) Imaging slouží k nastavení optimálních parametrů pro záznam obrazu studovaného vzorku a pro jeho nasnímání.

b) Spectrum slouží k nastavení parametrů akumulace dat, k nastavení parametrů vyhodnocení a k načtení spektra.

Kliknutím na šipku u tlačítka Acquire se otevírá dialogové okno pro nastavení parametrů akumulace, z nichž nejdůležitějším je volba času po který se má spektrum akumulovat, zde můžeme volit z několika možností.

Kliknutím na šipku u tlačítka Quantify se otevírá dialogové okno pro nastavení parametrů kvantifikace. Možností volby je celá řada. Nebudeme se zde zabývat všemi detaily, ty ponecháváme k prostudování během samotného měření. Během měření se zaměřte se i na to, jakým způsobem ovlivňuje volba parametrů kvantifikační procedury výsledky kvantifikace.

Ve spodní části okna je vidět výsledek kvantifikace.

c) Object - slouží k snímání množství spektra z konkrétního jednoho bodu, čárovému a plošnému mapování.

(12 MiB)

Pro mapování je nutné nejprve vybrat prvky, jejichž množství chceme po úsečce nebo ploše sledovat. Nastavíme parametry akvizice a v levém panelu vybereme požadovanou úsečku nebo plochu.

Vzhled okna pro čárové mapování (Line scan) a plošné mapování (Mapping) je následující.

Pro plošné mapování

Prostřednictvím záložky Spectrum (horní pravý roh) je možné zobrazit integrální spektrum (pro čárové i plošné mapování).